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中國科學(xué)院金屬研究所沈陽材料科學(xué)國家研究中心孫東明團(tuán)隊(duì)--一種垂直結(jié)構(gòu)的硅-石墨烯-鍺晶體管

石墨烯基晶體管已被報(bào)道應(yīng)用于高速器件,因其原子級厚度消除了基本遷移時間的限制。但是,目前已報(bào)道的石墨烯基區(qū)晶體管普遍采用隧穿發(fā)射結(jié),然而隧穿發(fā)射結(jié)的勢壘高度嚴(yán)重限制了該晶體管作為高速電子器件的發(fā)展前景。為了克服這個問題,這里提出了一種石墨烯基異質(zhì)結(jié)晶體管,其中石墨烯夾在硅層之間。一種垂直結(jié)構(gòu)-石墨烯-鍺晶體管被成功制備通過單晶硅和單層石墨烯構(gòu)造了肖特基發(fā)射結(jié)。所設(shè)計(jì)肖特基發(fā)射結(jié)的電流達(dá)692 A cm-2,電容為41 nF cm-2,這使得器件總延遲時間縮短了1000倍以上,即器件的截止頻率由約1.0MHz提升至1.2GHz。經(jīng)過進(jìn)一步的工程設(shè)計(jì),該半導(dǎo)體-石墨烯-半導(dǎo)體晶體管為超高速運(yùn)行器件的發(fā)展奠定了重要基礎(chǔ)。

Figure 1.裝置的設(shè)計(jì)與構(gòu)造。(a直接堆疊Si,單層石墨烯Ge基底建造Si-Gr-Ge晶體管b光學(xué)照片,(cSi膜在石墨烯SEM圖,d晶體管的橫截面示意圖。

Figure 2. Si-Gr-Ge晶體管的肖特基發(fā)射結(jié)。(aSi-Gr發(fā)射結(jié)在室溫下的I-V曲線,b電流-溫度相關(guān)曲線c不同發(fā)射結(jié)情況下石墨烯基晶體管的電流比較,(d不同發(fā)射結(jié)情況下石墨烯基晶體管的fa比較

Figure 3. Si-Gr-Ge晶體管在常用基區(qū)模型下電學(xué)特性表征

Figure 4. Si-Gr-Ge晶體管的能帶圖。(a施加偏壓下的能帶圖b發(fā)射結(jié)施加一個大于零的正向偏壓時的能帶圖c給集流體結(jié)施加一個大于零的反向偏壓時的能帶圖?

    該研究工作中國科學(xué)院金屬研究所沈陽材料科學(xué)國家研究中心孫東明團(tuán)隊(duì)2019年發(fā)表在Nature Communications國際頂級期刊上。原文:A vertical silicon-graphene-germanium transistorhttps://doi.org/10.1038/s41467-019-12814-1

 
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