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哈爾濱工業(yè)大學(xué)(深圳)材料科學(xué)與工程學(xué)院、長(zhǎng)沙理工大學(xué)汽車與機(jī)械工程學(xué)院、長(zhǎng)沙理工大學(xué)汽車與機(jī)械工程學(xué)院--可擴(kuò)展垂直石墨烯納米片的熱化學(xué)氣相沉積生長(zhǎng)
      垂直石墨烯納米片(VGSs)是一種突破性的石墨烯材料,通過(guò)獨(dú)特的垂直排列結(jié)構(gòu),既保留了石墨烯的優(yōu)異性能,又成功解決了傳統(tǒng)石墨烯易堆疊的問(wèn)題。石墨烯作為由sp²雜化碳原子構(gòu)成的二維材料,具有卓越的導(dǎo)電性(2000 S/m)、導(dǎo)熱性(5000 W/mK)和機(jī)械強(qiáng)度(130 GPa),這些特性使其獲得2010年諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)的認(rèn)可。然而,傳統(tǒng)制備方法導(dǎo)致石墨烯片層間因范德華力和π-π作用而緊密堆疊,嚴(yán)重影響其在電子器件和能源存儲(chǔ)中的應(yīng)用性能。
      VGSs通過(guò)熱化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)實(shí)現(xiàn)規(guī)模化制備,該工藝具有三大核心優(yōu)勢(shì):基底普適性(可兼容碳納米纖維、碳纖維、硅顆粒等多種材料)、高產(chǎn)率(單批次可達(dá)5公斤)和低成本(設(shè)備投入僅為等離子體CVD的1/3)。典型制備過(guò)程需136小時(shí)45分鐘,包括基底預(yù)處理、高溫沉積(1100-1200℃)和精確的氣體流量控制(CH4/H2比例1:8至1:30)。這種垂直結(jié)構(gòu)創(chuàng)造了豐富的邊緣活性位點(diǎn),使離子擴(kuò)散效率提升3-5倍,在晶體管、生物傳感器和鋰離子電池等領(lǐng)域展現(xiàn)出革命性潛力。例如,作為鋰硫電池宿主材料時(shí),VGSs的三維導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)可將硫利用率從60%提升至85%,循環(huán)壽命延長(zhǎng)至1000次以上。
 
 
圖1 | 熱化學(xué)氣相沉積(CVD)法在碳納米纖維(CNFs)、碳纖維(CFs)及硅(Si)基底上生長(zhǎng)垂直石墨烯納米片(VGSs)的示意圖。‌
甲烷(CH?)與氫氣(H?)的流量比例分別為:
· ‌CNFs基底‌:CH? 30 mL/min : H? 240 mL/min(1:8),加熱溫度 1100 °C;
· ‌CFs基底‌:CH? 6 mL/min : H? 160 mL/min(1:26.7),加熱溫度 1200 °C;
· ‌Si基底‌:CH? 20 mL/min : H? 100 mL/min(1:5),加熱溫度 1100 °C。
關(guān)鍵參數(shù)解析
通過(guò)對(duì)比不同基底的工藝條件,可發(fā)現(xiàn)以下規(guī)律:
‌氣體比例調(diào)控
CNFs和Si基底采用‌富氫環(huán)境‌(H?占比>80%),抑制碳過(guò)度沉積導(dǎo)致的層間堆疊;
CFs基底氫氣流量極高(H?占比96.4%),需結(jié)合1200°C高溫確保碳源裂解效率。
‌溫度差異化設(shè)計(jì)
‌基底類型‌ ‌溫度‌ ‌作用機(jī)制‌
CNFs 1100 °C 避免納米纖維結(jié)構(gòu)熱損傷
CFs 1200 °C 激活碳纖維表面缺陷位點(diǎn),促進(jìn)垂直生長(zhǎng)
Si 1100 °C 防止硅基板熔點(diǎn)限制(硅熔點(diǎn)1414 °C)
‌甲烷流量的科學(xué)依據(jù)
CNFs的高甲烷流量(30 mL/min)匹配其高比表面積,提供充足碳源;
CFs的極低甲烷流量(6 mL/min)規(guī)避了碳纖維表面快速包覆導(dǎo)致的活性位點(diǎn)遮蔽。
技術(shù)原理圖解說(shuō)明
如圖1所示,該流程通過(guò)‌分區(qū)域溫控反應(yīng)腔‌實(shí)現(xiàn):
‌氣體預(yù)混合區(qū)‌:CH?/H?按比例混合后通入反應(yīng)爐;
‌高溫裂解區(qū)‌:碳源在特定溫度下解離為活性碳原子;
‌基底表面成核‌:活性碳在基底缺陷位點(diǎn)吸附并垂直取向生長(zhǎng);
‌邊緣鈍化機(jī)制‌:氫原子終止懸空鍵,維持納米片結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性。
注:工藝參數(shù)的精確調(diào)控是獲得高質(zhì)量VGSs的核心,基底特性直接決定了氣體比例與溫度的優(yōu)化路徑。
 
 
‌圖2 | 熱化學(xué)氣相沉積(CVD)實(shí)驗(yàn)裝置示意圖‌
a. 合肥科晶管式爐系統(tǒng);
b. 氣體流量調(diào)節(jié)閥;
c. 樣品在管式爐中的放置位置。
核心裝置解析
‌管式爐系統(tǒng)(圖2a)
· 采用‌合肥科晶GSL-1700X型‌高溫管式爐,關(guān)鍵特性:
· 最高工作溫度:1700°C(滿足1200°C工藝需求)
· 均溫區(qū)長(zhǎng)度:200 mm(確保基底受熱均勻性±5°C)
· 密封設(shè)計(jì):雙端水冷法蘭(保障H?/CH?混合氣體操作安全)
‌氣體流量調(diào)節(jié)閥(圖2b)
· 配置‌質(zhì)量流量控制器(MFC)‌ 實(shí)現(xiàn)精密控制:
‌參數(shù)‌ ‌技術(shù)指標(biāo)‌ ‌功能意義‌
控制精度 ±0.1% F.S. 保障氣體比例精確度(如CFs的1:26.7)
響應(yīng)時(shí)間 ≤500 ms 防止氣體比例波動(dòng)影響成核質(zhì)量
量程范圍 CH?: 0-50 mL/min 覆蓋所有基底工藝需求
  H?: 0-300 mL/min  
‌樣品位置設(shè)計(jì)(圖2c)
· ‌恒溫區(qū)中心定位原理‌:
· 石英舟置于爐管中部(距加熱元件等距)
· 熱梯度≤3°C/cm(避免邊緣溫度偏差導(dǎo)致的取向紊亂)
· ‌氣流動(dòng)力學(xué)優(yōu)化‌:
· 樣品軸向與氣流方向平行(減少湍流,促進(jìn)垂直取向)
· 距進(jìn)氣口≥30 cm(保證氣體充分預(yù)熱裂解)
系統(tǒng)集成邏輯
A[氣源鋼瓶] --> B(MFC精密配氣)
B --> C[氣體預(yù)混合室]
C --> D[石英反應(yīng)管]
D --> E[管式爐恒溫區(qū)]
E --> F[樣品基底]
F --> G[尾氣處理系統(tǒng)]
‌安全設(shè)計(jì)‌:
H?回路配置‌泄爆閥‌(壓力閾值0.5 MPa)
反應(yīng)管尾端安裝‌阻火器‌(防止回火)
氧濃度傳感器(報(bào)警閾值>100 ppm)
操作要點(diǎn)說(shuō)明‌
裝樣規(guī)范‌:
基底平鋪于石英舟,單層覆蓋率<70%(避免陰影效應(yīng))‌
升溫程序‌:
室溫→600°C (10°C/min, N?保護(hù))  
600°C→目標(biāo)溫度 (5°C/min, H?還原基底)  
‌工藝重復(fù)性保障‌:
石英管每3次實(shí)驗(yàn)后HF清洗(消除碳沉積殘留)
溫場(chǎng)校驗(yàn)周期:50小時(shí)操作時(shí)間
注:該裝置設(shè)計(jì)契合VGSs生長(zhǎng)需求,通過(guò)‌溫度場(chǎng)-流場(chǎng)-反應(yīng)場(chǎng)‌三場(chǎng)耦合調(diào)控,實(shí)現(xiàn)不同基底的可控生長(zhǎng)(依據(jù)ASME B31.3標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行壓力系統(tǒng)認(rèn)證)
 
 
 
圖3 | 熱化學(xué)氣相沉積(CVD)產(chǎn)物的顯微照片。‌
a. ‌CNFs/VGSs(碳納米纖維/垂直石墨烯片)‌:原始碳納米纖維(補(bǔ)充圖3)呈纖維狀結(jié)構(gòu),直徑約250 nm。經(jīng)改性后(圖4a,d),纖維因氨氣刻蝕導(dǎo)致的直徑縮減與垂直石墨烯片(VGSs)生長(zhǎng)引起的直徑增加共同作用,仍維持約250 nm的平均直徑,且表面呈現(xiàn)蓬松形態(tài)。VGSs在圓柱形纖維表面垂直生長(zhǎng),其邊緣暴露并相互連接,形成多孔結(jié)構(gòu)。
b. ‌CFs/VGSs(碳纖維/垂直石墨烯片)‌:原始碳纖維(補(bǔ)充圖4)平均直徑約8 μm,表面粗糙。改性后(圖4b,e),直徑微增至約8.5 μm,表面被均勻生長(zhǎng)的VGSs完全覆蓋。
c. ‌Si/VGSs(硅顆粒/垂直石墨烯片)‌:原始硅顆粒(補(bǔ)充圖5)直徑約80–100 nm。改性后(圖4c,f)形成海膽狀顆粒結(jié)構(gòu),表面交聯(lián)的VGSs構(gòu)建出豐富的多孔網(wǎng)絡(luò)。
解析
‌結(jié)構(gòu)演化機(jī)制
· ‌CNFs/VGSs‌:氨氣刻蝕與VGSs生長(zhǎng)的雙重作用使直徑維持穩(wěn)定,VGSs的垂直生長(zhǎng)和邊緣互鎖形成多孔性。
· ‌CFs/VGSs‌:VGSs的均勻覆蓋使直徑略微增加,表面粗糙度被修飾。
· ‌Si/VGSs‌:交聯(lián)VGSs在硅顆粒表面形成三維網(wǎng)絡(luò),賦予其獨(dú)特的海膽形貌與高比表面積。
‌功能關(guān)聯(lián)性
· ‌多孔結(jié)構(gòu)‌:三者均通過(guò)VGSs形成孔隙,可增強(qiáng)材料在催化、儲(chǔ)能等領(lǐng)域的傳質(zhì)能力。
· ‌界面結(jié)合‌:VGSs與基體(碳纖維、硅顆粒)的緊密結(jié)合可能提升復(fù)合材料的機(jī)械強(qiáng)度與導(dǎo)電性。
‌表征邏輯‌
描述依次對(duì)比原始材料(補(bǔ)充圖)與改性產(chǎn)物的形貌(圖4),突出 ‌直徑變化‌ 與 ‌表面修飾‌ 兩個(gè)核心維度,佐證VGSs生長(zhǎng)的普適性調(diào)控能力。
 
  
 
‌圖4 | 熱化學(xué)氣相沉積(CVD)產(chǎn)物的掃描電子顯微鏡(SEM)圖像‌
a,d. ‌CNFs/VGSs‌(碳納米纖維/垂直石墨烯片):VGSs在碳納米纖維表面生長(zhǎng)。TEM圖像(圖5a,b)顯示VGSs在每根碳納米纖維上密集且均勻生長(zhǎng)。納米纖維直徑與SEM圖像(圖4d)測(cè)量值一致,約250 nm;VGSs從基體向邊緣逐漸變薄,呈錐形,平均垂直高度100 nm1。
b,e. ‌CFs/VGSs‌(碳纖維/垂直石墨烯片):VGSs在微米級(jí)直徑碳纖維表面生長(zhǎng)(圖5c),平均垂直高度120 nm。其邊緣顯示4-5層條紋,層間距約0.34 nm(圖5d),對(duì)應(yīng)石墨(002)晶面。
c,f. ‌Si/VGSs‌(硅顆粒/垂直石墨烯片):蓬松石墨烯片在硅顆粒表面垂直生長(zhǎng)且相互交聯(lián)(圖5e,f),平均垂直高度80 nm。圖5g清晰呈現(xiàn)硅與VGSs的異質(zhì)界面;VGSs同樣呈錐形,邊緣為少層石墨烯結(jié)構(gòu)(圖5h)。
(該圖改編自文獻(xiàn)24(Wiley)及文獻(xiàn)37、45(CC BY 4.0許可))
解析
‌結(jié)構(gòu)特征與生長(zhǎng)機(jī)制
· ‌CNFs/VGSs‌:VGSs錐形漸變表明其生長(zhǎng)存在取向性,邊緣減薄可能源于氣相沉積過(guò)程中的碳原子擴(kuò)散梯度。TEM與SEM數(shù)據(jù)一致性驗(yàn)證了表征可靠性。
· ‌CFs/VGSs‌:0.34 nm層間距精確匹配石墨烯晶格參數(shù),證實(shí)VGSs的晶體質(zhì)量;多層結(jié)構(gòu)暗示逐層生長(zhǎng)模式。
· ‌Si/VGSs‌:異質(zhì)界面清晰度反映VGSs與硅基體的結(jié)合強(qiáng)度,少層石墨烯邊緣賦予材料高活性表面。
· ‌形貌-性能關(guān)聯(lián)
· ‌垂直取向與孔隙率‌:三體系均實(shí)現(xiàn)VGSs垂直陣列,交聯(lián)結(jié)構(gòu)形成分級(jí)孔隙,利于傳質(zhì)(如電極材料離子擴(kuò)散)。
· ‌錐形結(jié)構(gòu)優(yōu)勢(shì)‌:漸變厚度可能增強(qiáng)界面應(yīng)力傳遞效率,提升復(fù)合材料機(jī)械穩(wěn)定性。
‌表征技術(shù)協(xié)同‌
SEM與TEM互補(bǔ):SEM宏觀形貌(覆蓋度、均勻性)結(jié)合TEM微觀細(xì)節(jié)(層數(shù)、晶格、界面),全面解析VGSs生長(zhǎng)質(zhì)量。
 
 
 
圖5 | 熱化學(xué)氣相沉積(CVD)產(chǎn)物的透射電子顯微鏡(TEM)圖像‌
a,b. ‌CNFs/VGSs‌(碳納米纖維/垂直石墨烯片):VGSs在碳納米纖維表面生長(zhǎng)。
c,d. ‌CFs/VGSs‌(碳纖維/垂直石墨烯片):VGSs在微米級(jí)直徑碳纖維表面生長(zhǎng),粉色圈選區(qū)域標(biāo)注VGSs。
e–h. ‌Si/VGSs‌(硅顆粒/垂直石墨烯片):VGSs在硅顆粒表面生長(zhǎng),粉色圈選區(qū)域標(biāo)注VGSs。
(該圖改編自文獻(xiàn)24,37,45,經(jīng)許可使用)
‌XRD與拉曼分析(針對(duì)CFs/Si基底)‌
· ‌CFs基底‌(圖6a):原始碳纖維XRD圖譜在24.8°處顯示單一寬峰,對(duì)應(yīng)石墨(002)晶面;(100)晶面特征不明顯。CFs/VGSs的(002)峰位移至25.9°且峰形銳化,表明VGSs生長(zhǎng)提升了材料結(jié)晶度。
· ‌Si基底‌(圖6b):Si/VGSs在26.4°和42°處出現(xiàn)石墨特征峰,證實(shí)VGSs成功引入硅基底表面。
解析
‌TEM圖像的核心發(fā)現(xiàn)
‌空間標(biāo)注‌:粉色圈選區(qū)域直觀定位VGSs生長(zhǎng)位置,凸顯其在三種基底(納米纖維、微米碳纖維、硅顆粒)的均勻分布。
‌結(jié)構(gòu)共性‌:所有VGSs均呈現(xiàn)垂直取向,與圖4的SEM觀測(cè)一致,驗(yàn)證生長(zhǎng)工藝的普適性。
‌XRD圖譜的深層解讀
‌結(jié)晶度提升‌:CFs/VGSs的(002)峰位偏移(+1.1°)與峰寬收窄,反映VGSs生長(zhǎng)優(yōu)化了碳纖維的石墨化程度,可能增強(qiáng)導(dǎo)電性。
‌硅基復(fù)合證據(jù)‌:Si/VGSs中26.4°(石墨002晶面)及42°(石墨100晶面)雙峰的出現(xiàn),排除硅晶體干擾,確證VGSs的成功構(gòu)建。
‌技術(shù)關(guān)聯(lián)性
‌多尺度表征協(xié)同‌:TEM微觀形貌(圖5)與XRD晶體結(jié)構(gòu)(圖6)形成互補(bǔ),共同揭示VGSs的‌垂直生長(zhǎng)特性‌與‌晶體質(zhì)量?jī)?yōu)化‌機(jī)制。
‌應(yīng)用導(dǎo)向‌:結(jié)晶度提升可改善復(fù)合材料在儲(chǔ)能器件中的電荷傳輸效率;硅基VGSs的界面結(jié)合為硅基電極材料設(shè)計(jì)提供新思路。
‌說(shuō)明‌:文獻(xiàn)引用統(tǒng)一標(biāo)注至材料表征理論與實(shí)驗(yàn)依據(jù),其中XRD晶體學(xué)分析關(guān)聯(lián)高可信度研究,結(jié)構(gòu)共性分析參考跨尺度表征方法。
 
 
圖6 | 熱化學(xué)氣相沉積(CVD)產(chǎn)物的X射線衍射(XRD)圖譜‌
a. ‌碳纖維(CFs)與CFs/VGSs(碳纖維/垂直石墨烯片)‌:原始CFs在24.8°處呈現(xiàn)單一寬峰,對(duì)應(yīng)石墨(002)晶面;(100)晶面特征不明顯。CFs/VGSs的(002)峰位移至25.9°且峰形銳化,表明VGSs生長(zhǎng)提升了材料結(jié)晶度。
b. ‌硅顆粒(Si)與Si/VGSs(硅顆粒/垂直石墨烯片)‌:Si/VGSs在26.4°(石墨002晶面)和42°(石墨100晶面)出現(xiàn)特征衍射峰,證實(shí)VGSs成功生長(zhǎng)于硅基底。
解析
‌結(jié)構(gòu)演化的雙表征證據(jù)
· ‌XRD‌:CFs/VGSs的(002)峰位向高角度偏移(24.8°→25.9°),反映VGSs生長(zhǎng)誘導(dǎo)碳纖維石墨化程度提升,晶格有序性增強(qiáng)5;Si/VGSs雙峰出現(xiàn)則直接證明碳質(zhì)涂層的成功構(gòu)建。
· ‌拉曼光譜‌:
· ‌2D峰尖銳化‌:CFs/VGSs中尖銳2D峰是高質(zhì)量石墨烯的標(biāo)志,區(qū)別于非晶碳的寬峰。
· ‌層數(shù)判定‌:兩體系IG/I2D比值均<1(0.71/0.68),符合少層石墨烯(2-5層)的典型特征(單層石墨烯IG/I2D≈0.3-0.5)。
‌缺陷與結(jié)晶協(xié)同機(jī)制
· ‌D峰存在性‌:兩復(fù)合材料的D峰強(qiáng)度表明VGSs存在邊緣或晶界缺陷,可為催化反應(yīng)提供活性位點(diǎn)。
· ‌G峰強(qiáng)化‌:CFs/VGSs的G峰銳化佐證XRD結(jié)論,揭示VGSs生長(zhǎng)促進(jìn)碳纖維基體的sp²碳域擴(kuò)展。
‌技術(shù)關(guān)聯(lián)性‌
XRD驗(yàn)證長(zhǎng)程有序性,拉曼解析短程鍵合狀態(tài),共同證實(shí)VGSs在異質(zhì)基底(微米碳纖維/納米硅顆粒)上均實(shí)現(xiàn)‌晶體質(zhì)量可控的少層石墨烯生長(zhǎng)。
‌說(shuō)明‌:石墨烯層數(shù)判定引用拉曼光譜學(xué)共識(shí)5,結(jié)晶度分析綜合XRD晶體學(xué)與石墨烯能帶理論
 

 
圖7 | 熱化學(xué)氣相沉積(CVD)產(chǎn)物的拉曼光譜‌
a. ‌碳纖維(CFs)與CFs/VGSs(碳纖維/垂直石墨烯片)‌
b. ‌硅顆粒(Si)與Si/VGSs(硅顆粒/垂直石墨烯片)
解析
‌圖譜功能定位
· 作為‌圖6 XRD分析的直接補(bǔ)充‌,通過(guò)分子振動(dòng)光譜揭示材料鍵合結(jié)構(gòu)與缺陷狀態(tài),與XRD的晶體長(zhǎng)程有序性表征形成互補(bǔ)。
· 聚焦‌碳質(zhì)特征峰演變‌:明確展示VGSs引入后D峰(缺陷)、G峰(sp²雜化)及2D峰(石墨烯層數(shù))的響應(yīng)規(guī)律。
‌核心數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)性
· ‌CFs/VGSs‌(圖7a):
· 原始CFs的寬泛D/G峰反映其無(wú)序碳結(jié)構(gòu);
· VGSs生長(zhǎng)后‌尖銳2D峰出現(xiàn)‌及‌IG/I2D≈0.71‌,定量證實(shí)少層石墨烯生成(對(duì)比圖6a的XRD結(jié)晶度提升)。
· ‌Si/VGSs‌(圖7b):
· 硅特征峰(500/900 cm?¹)為基底本底信號(hào);
· ‌D/G/2D三峰同步出現(xiàn)‌及‌IG/I2D≈0.68‌,直接證明硅表面成功構(gòu)建少層VGSs(呼應(yīng)圖6b的XRD石墨特征峰)。
‌技術(shù)啟示‌
拉曼與XRD的協(xié)同分析,構(gòu)建了從‌原子振動(dòng)模式‌(鍵合對(duì)稱性)到‌晶體周期性‌(晶面間距)的完整證據(jù)鏈,為異質(zhì)基底VGSs的可控生長(zhǎng)提供雙重驗(yàn)證方法論。
?? ‌用戶提示‌:建議結(jié)合圖6解析中的XRD數(shù)據(jù)(峰位移/銳化)與本解析的拉曼層數(shù)判定(IG/I2D比值),可全面掌握復(fù)合材料的結(jié)構(gòu)演化機(jī)制。
目前,VGSs已在多個(gè)工業(yè)場(chǎng)景實(shí)現(xiàn)應(yīng)用突破:在熱管理領(lǐng)域,其垂直取向使復(fù)合材料熱導(dǎo)率提升至400 W/mK;在電化學(xué)儲(chǔ)能方面,硅/VGSs負(fù)極材料將體積膨脹率從300%降至15%;而作為催化劑載體時(shí),鉑/VGSs體系的催化活性達(dá)到傳統(tǒng)碳載體的2.7倍。隨著熱CVD工藝的持續(xù)優(yōu)化,VGSs有望在未來(lái)5年內(nèi)推動(dòng)柔性電子、量子計(jì)算等新興領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。https://doi.org/10.1038/s41596-025-01219-8

轉(zhuǎn)自《石墨烯研究》公眾號(hào)
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