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石墨烯使MEMS傳感器變得更敏感
來自瑞典的KTH皇家研究所的研究人員開發了石墨烯硅壓阻傳感器。這種石墨烯傳感器和普通硅壓阻傳感器相比靈敏度增加100倍。
研究人員在一個硅襯底上放置一個鏤空的二氧化硅片，在上面再覆蓋一片石墨烯。石墨烯成為一個隔膜，他們制作了一個原型裝置，作為一個應變儀，這個還可以應用在其他MEMS傳感器上。
 
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