圖1,二維材料疊加系統(tǒng)的基本構成
圖2 主機的部件示意圖
?1.上層樣品控制部分；2‚下層樣品控制部分；3.顯微成像部分；4.光路部分
圖3 控制器示意圖
圖4 軟件界面
圖4 真空泵示意圖
表1 設備部件功能說明
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序號 |
部件名稱 |
功能說明 |
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1 |
上層樣品控制部分 |
尋找上層樣品并精確控制上層樣品下降，疊加下層樣品 |
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2 |
下層樣品控制部分 |
尋找旋轉(zhuǎn)中心；尋找下層樣品 |
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3 |
顯微成像部分 |
對上下層樣品成像，確定位置 |
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4 |
光路部分 |
加工樣品 |
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檢查設備
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打開LED燈，檢查電源開關是否正常工作；
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打開CCD軟件，檢查是否正常工作；
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打開電控臺開關，檢查是否正常運行；
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打開軟件控制部分，測試是否正常工作；
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檢查螺絲等緊固件是否該牢固，以達到安全工作。
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準備工作
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放置上下層樣品，觀察其所在平面是否平行，若否，調(diào)試“角位移臺”至平行；
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聚焦下層樣品平面，在電腦清晰成像，調(diào)節(jié)“電動轉(zhuǎn)臺”，觀察旋轉(zhuǎn)中心是否在成像范圍內(nèi)，若否，調(diào)節(jié)②中二維平移臺直至旋轉(zhuǎn)中心在成像范圍內(nèi)。
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工作步驟
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通過調(diào)節(jié)②中二維平移臺尋找下層樣品，調(diào)節(jié)①中平移臺尋找上 層樣品平面，然后尋找上層樣品；
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打開電控臺以及軟件，電控臺上選擇③中一維電動平移臺對應地址并電控尋找下層樣品，軟件同時記錄了位置變化，及上下層樣品間的距離L；
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選擇①電動平移臺對應地址，調(diào)控電動平移臺下降L，將兩樣品貼合。
問題1：兩個一維電動平移臺的設定相同的行程時，實際位移不同。
解決方案：重新安裝電控臺控制器或在‘平移臺類型’選對應型號的類型。
問題2：電動平移臺①運行了L距離，但仍上下層樣品沒有貼合。
解決方案：嘗試一個微小的超過量，如果仍沒有貼合，重新調(diào)節(jié)平行。
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